литография (в полупроводниковых приборах)

литография (в полупроводниковых приборах)
Перенос конфигурации или изображения с одного носителя на другой, например, с маски на подложку. Если для осуществления переноса применяется свет, используется термин фотолитография. Микролитографией называется процесс, в котором для переноса изображений применяется излучение в субмикронном диапазоне.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]